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无尘车间装修时该如何有效控制温度?

返回列表 来源:洲上净化 浏览: 发布日期:2016-03-18 14:47:19【

据洲上无尘车间厂家多年经验来分析,对于无尘车间装修时的温度控制要求以下内容详情表明:
    无尘车间装修施工具体工艺对温度的要求需举例说明:直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种无尘车间不宜超过25度。

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洲上建议无尘车间装修温度的控制最佳范围:
  洲上重点提示:  无尘车间装修的湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。

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