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在风量调整和联动调试的基础上，无尘车间空调净化系统以及为其服务的所有系统，均处于正常运行状态。接着进行无尘车间的性能测试和综合评价。
1、无尘车间的性能测试： 无尘车间性能测试内容包括： 洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流无尘车间 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。
①洁净度测试：采样点布置在工作面上（0.8~1.0m），采样点数量 N=A1/2（A是无尘车间面积‘m2’）。尘埃粒子计数器的采样量要大于 1 升/分；每个采样点连续有效采样三次。取其平均值做该点的测量值。全部测点的测量值的平均值作为无尘车间的洁净度。
②风量或风速测试：单向流洁室测量断面风速、非单向流无尘车间测其风量。 断面风速的测量：距吊顶上送风高效过滤器（HEPA）300mm 处布置测点，测点间距为 600mm，用热球风速仪测其各点风速。 风量测试：在送风管或送风口上测送风风量。方法是用比托管和微压差计，测风管内各点的动压，测点间距为 100mm。再计算送风量。
③正压测试：在关门的状态下，测无尘车间的正压。采用补偿式微压计测量。
2、无尘车间的综合评价。
在对无尘车间性能测试的基础上，根据对无尘车间洁净度、温、湿度、正压、风量、噪声等测试结果，对无尘车间的建设和性能进行竣工验收的综合评价。
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