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高级别无尘车间的特点

返回列表 来源:洲上净化 浏览: 发布日期:2015-03-09 11:19:11【

 一、建造投资费用高

 

     高级别无尘车间的建造费用很高,一般来说,100级垂直单向流的无尘车间,其室内装修(墙、顶、地、门、窗等)和空调净化系统(包括制冷空调设备和管道配件、净化设备和配件等)的初投资大约为1000元人民币/M2;如果加上纯水制备和系统管道,纯气发生和系统管道,废水治理设备和管道,消防系统,供配电和自控系统,真空清扫系统等等,其单位面积的建造投资费用要高达25000~30000元人民币/M2

 

     就拿已投产的上海华虹NEC超大规模集成电路芯片生产线无尘车间举例来说,华虹NEC为月投片300008„硅片集成电路前工序生产线,有无尘车间面积约12000M2,其中10000M2是在中心部位,2000 M2边跨上.在中心部位的10000 M2无尘车间中有4000 M21\10级和100级的垂直单向流无尘车间,另外6000 M2分别为1000 级和10000级和非单向流无尘车间,总送风量约6,400,000M3/H.1998年底建成投产。

 

     该项目总投资约100亿人民币,其中动力设备和土建投资为20亿人民币,占总投资的五分之一。单该核心部分的10000 M2的无尘车间的建造费用就高达6000万美元(约5亿人民币)日本三机株式社会施工),折合每平方米建造费用约50000元人民币/M2

 

二、运行管理费用大

 

     因为高级别无尘车间净化风量大,新风量也大,温湿度要求严格,所以空气热湿处理和空气输配的能量消耗大,耗电多,运行费用贵。

 

     还拿上述华虹NEC为例,其核心部分10000M2无尘车间总的送风量为6,400,000 M3/H,输送净化空气的风机耗电量为3840Kw/h,全年电费为6000万人民币。全年空调交货系统本身的运行费用就高达7659万元人民币。折合每年单位面积费用为7659/M2年。

 

三、灵活适应性强

 

     因为,科学技术的发展很快,高科技的产品不断出现,尤其是电子工业的发展更是日新月异像集成电路的发展2~3年就更新一代,TFT-LCD的发展更快1~2年就上一个台阶。这就要求为其服务的高级别的无尘车间必须能适应其发展速度,有极好的灵活性和适应性。因为建造一个洁净厂房是百年大计,不是一、二年就会拆掉重建。因此,在设计和建造洁净厂房时,就要考虑到工艺的发展、变更,就要考虑到洁净厂房的灵活性和适应性。从一个洁净厂房的灵活适应角度,可将其分为三个层次,第一是不可变的部分。无论怎样改都不能改变的部分。如基础、梁、柱等结构部分;第二是可变但不容易变的部分。如无尘车间的围护、装修等;第三是可变而且容易改变的部分。如动力、空气、水气体溶剂的供给部分和废气、废水、废料等排放部分。

 

四、安全 可靠性好

 

     从前面(一)、(二)两条特点可以得出建造和使用这样的无尘车间要付出等的代价。但是为了生产出高可靠、高质量的高科技产品也必须具备这样的生产环境。因为,建造无尘车间的目的是为使用,是为了得到高成品率合格产品。为了达此目的,设计和建造无尘车间必须把安全可靠放在第一位。保证所建造的无尘车间在洁净度、温湿度、风速、压力等所有参数必须满足生产工艺的要求,保证安全、可靠、不出事故。这一点绝有能马虎,更不能打折扣,要万无一失,只有这样才能效益,才能达到建造无尘车间的目的。

 

 

 

 

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