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东莞无尘车间的温度控制主要根据生产项目

返回列表 来源:洲上净化 浏览: 发布日期:2021-05-22 14:57:49【

   东莞无尘车间的温湿度主要根据你的加工工艺要求决定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。 随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。 例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数的差越来越小。 直径100 um的硅片,温度上升1度后,会引起0.24um的线膨胀。 因此,需要0.1度的恒温。 另外,湿度值一般要求较低。 因为人出汗后,产品有污染。 特别是在怕钠的半导体工厂,这种东莞无尘车间不能超过25度。 湿度过高问题就多了。 相对湿度超过55%时,冷却水管壁发生结露,如果在精密装置和电路中发生,会引起各种事故。 相对湿度为50%,容易生锈。

  但是,在大部分东莞无尘车间中,为了防止来自外部的污染侵入,需要使内部的压力(静压)高于外部的压力)静压。 压力差的维持一般应满足以下原则。

  1、清洁度等级高的空间的压力比相邻清洁度等级低的空间的压力高。

  2、连接洁净室之间的门可以开在洁净度高的房间里。

  3、洁净空间的压力应高于非洁净空间的压力。

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  压力差的维持依赖于新风量,该新风量需要能够通过该压力差补偿从间隙泄漏的风量。 因此,压力差的物理含义是风量泄漏(或渗透)到洁净室的各种间隙时的阻力。

  关于湍流东莞无尘车间,主要为了通过空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,主要使用换气次数的概念而不是速度的概念,但对于东莞无尘车间室内气流速度也有以下要求。

  1、送风口出口的气流速度不要太大。 与单纯的空调室相比,要求速度衰减快,扩散角度大。

  2、穿过水平面的气流速度(例如侧送时的回流速度)请勿过大,以免吹出表面的微粒返回气流,引起再次污染。 此速度通常请勿使0.2m/s大幅干燥。

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