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无尘车间温湿度主要根据产品需求的生产工艺来决定，在满足产品工艺要求的同时，也考虑到了工作人员的舒适性。 随着无尘车间空气净化等级的提高，各类工艺对温湿度的要求也越来越严格。
总之，产品的加工精度越高，对温湿度变动的要求也越高，温湿度变动的范围也要求越小。 例如，在一些大规模集成电路的光刻曝光工艺中，直接只有100微米的材料，环境温度和要求直接相差1度，就会产生材料的零点微米的偏差，在这样高精度要求的洁净室中是非常严重的生产事故。 因此，该工艺需求温差保持在正负0.5之间。
另外，对湿度的高精度产品要求也非常严格。 在一些电子元器件的生产中，空气潮湿直接影响芯片的质量。 大部分硅基产品的无尘车间湿度范围严格规定在30-45%之间。
