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无尘车间实际操作处理芯片时注意事项

返回列表 来源:洲上净化 浏览: 发布日期:2020-05-20 10:25:29【

无尘车间实际操作处理芯片时注意事项

1.处理芯片时,务必戴上无纤维手套,应用清洁过的洁净镊子夹住芯片,切勿以手指头或其他任何东西触碰芯片,遭触碰污染过的芯片需经清洁,方得再次应用:
(1)任何一支镊子前面(即夹住芯片端)如被触碰过,或者镊子坠落地面上,务必拿来清洁切勿用卫生纸或布擦试脏镊子。
(2)芯片清洁后开展下一程序流程前,若被手指头触碰过,务必再次清洁。
(3)把芯片置放于石英舟上,提前准备进炉管时,若发觉常用镊子有破损状况或芯片上带显眼由镊子所造成的污染,务必将芯片再次清洁,并马上拆换洁净的镊子应用。
2.芯片务必置放盒中,盖起来储放于标准部位,尽量不许它暴露。
3.避免出现在芯片上交谈,以避免唾沫溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请需注意,避免所述行为造成,若芯片上粘有纤维屑时,用N2枪喷之。
4.从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等移动载具(Carrier)上,取下芯片时,务必竖直往上挟起,避免出现划伤芯片,光学显微镜摄像镜头确已离芯片,即可从吸座移位走芯片。
5.芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切忌用钻石刀在芯片上刻记。
6.实际操作时,无论是不是戴上手套,手决不能放入清洁不锈钢水槽。
无尘车间
7.应用有机化学站或烤箱处理芯片时,尽量将芯片放置于铁弗龙晶舟内,不能应用塑料盒子。
8.摆放芯片于石英舟时,若芯片坠落地面上或手上则务必再次清洁芯片,随后再进氧化炉。
9.请勿触摸芯片盒內部,如被触碰或者有碎芯片污染,务必重作清洁。
10.手套,废旧纸张以及它杂碎物品,切勿留放置工作台,手套若烧糊、磨烂或纤维变质多务必换新。
11.非经标示,决不可打开不了解的仪器设备及各种各样开关阀操纵钮或门把。
12.怪异的气味或反映出现异常的溶液,色调,响声等请即通告有关工作人员。
13.仪器设备因实际操作不正确而有任何毁坏时,尽量马上告之负责工作人员或老师。
14.芯片盒出入无尘车间须维持洁净,并以保鲜袋封裝,违反者不可进到。
15. 无尘车间内一律应用原子笔及洁净笔记本电脑做纪录,一般纸张与签字笔不可携入。
 无尘车间内空间,由于充分考虑洁净.就和外部分隔了.自然的气体进不去.房间内填满的是生产物资释放的气味.虽无大毒.但时间长了.对肺脏会导致无法估量的影响
减少了人体的抵抗力量

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