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集成电路无尘车间平面布置的几种形式

返回列表 来源:洲上净化 浏览: 发布日期:2019-06-03 16:37:29【

随着工艺牛产技术的不断发展,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是无尘车间,8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求,有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。

集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品,它几乎存在于所有工业部门,对国民经济的发展起着“倍增器”的作用,因此被先进国家作为战略性产业。同时IC产业也是当今世界上发展最为迅速、竞争最为激烈的产业。


无尘车间从平面布置划分一般有三种形式:即开放式、港湾式、岛形布置,IC前工序生产厂通常采用港湾式和开放式无尘车间,港湾式无尘车间在5”、6”IC生产厂用得较多,其工艺设备为穿墙式:而8”、12”IC生产厂则普遍采用开放式无尘车间加微环境的方式。
 

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