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净化工程的整厂规划，因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少净化工程规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项：
1. 无尘车间洁净度等级。
2. 室压之平衡措施。
3. 温湿度要求。
4. 机器设备之必要性。
5. 确定生产流程。
6. 局部排气之必要性。
7. 日后扩充弹性。
8. 足够维护保养空间。
9. 空调送风方式。
10. 员工休息区之安排。
11. 设施与动力之配置
12. 室内净高与楼板载重。
13. 设备空间与管道间。
14. 门窗宜少，气密性要佳。
15. 静电、振动及噪音。
16. 生产线与活动线少交叉。
17. 公害、污染与防灾。
18. 安装及运转成本之衡量。
净化工程的动线规划 所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)。要点：
1． 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2． 制造装置之出入，需不对作业产生大影响。
3． 超净化工程四周，宜设缓冲区(即较差洁净区)。
